ContourX-1000
ContourX-1000立式白光干涉仪（WLI）能够轻松快速地获取高质量的三维表面纹理和粗糙度测量结果。该系统融合了30多年来的创新成果以及我们全新的专有软件和技术，提供了布鲁克光学轮廓仪所闻名的高效率和可重复性，同时提高了吞吐量，让操作更加简便。
ContourX-1000具备全自动功能、直观的用户体验以及简化的测量设置和分析方案，几乎可由任何操作员在任何表面上进行极其准确、精密的测量，即便是在多用户、大批量的生产设施中也是如此。
配备了布鲁克干涉测量技术并拥有自动化能力的ContourX-1000，将我们ContourX轮廓测量系统的准确的测量和成像能力扩展到了各种开发和生产应用中。
只有ContourX-1000：
配备倾斜补偿探头、双光源和先进的自动化技术，提供快速且灵活的生产现场计量服务；
通过自校准激光器和集成振动隔离装置，确保高度准确性和可靠性；
集成了我们用户友好的测量和分析软件，包含引导式、简化的程序和测量方案。
先进光学轮廓仪硬件设计
ContourX-1000配备了多种创新的硬件。其下一代设计能够实现快速优化，并确保在几乎所有开发和生产应用中，即便是在高通量和嘈杂环境中，都能达到非常高的可重复性。
关键特性包括：
倾斜/俯仰扫描头；
双光源设计；
自动物镜转塔与样品台；
多种晶圆托盘；
特有内置参考激光，以及
集成减震台。
▲ 倾斜/俯仰扫描头
强大的自动测量与分析
ContourX-1000高集成度、操作简便的功能以及先进的生产界面，能够实现高质量、计量级别测量数据的快速采集，同时尽可能减少用户干预。这消除了手动设置、采集和分析所固有的复杂性、耗时长和操作者不一致对结果造成的影响。
关键特性包括：
自动化测量和分析菜单；
新的一键式高级寻找表面功能，配备自动对焦和自动照明；
采用自适应测量模式USI自动确定测量参数；
引导式VisionXpress界面；
自动图案对齐；
自动强度调整、自动保存、自动拼接等功能，以及更多。
▲ 晶圆检测时的自动图形用户交互界面
源于业界的解决方案
