原子力显微镜

FastScan Pro 原子力显微镜

用于工业研发的自动化纳米计量AFM

Dimension FastScan Pro 提供当今工业界相当快速的扫描和丰富的性能测量。该系统支持全自动或半自动测量，同时具有易操作性以及满足实现质量控制、质量保证和故障分析的低成本要求。
独特
AFM 生产技术
支持优秀的表面表征。
无与伦比
服务和支持
通过运营效率降低成本。
自动化
AFM 扫描仪
提供可靠、无缝的测量工作流程。


特征

生产多功能性

FastScan Pro 利用开放性平台、大样品或多样品平台以及各种易用性功能，为工业 QA、QC 和 FA 部门提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可用于半导体界、硬盘界、HB-LED业界 的 2 英寸至 12 英寸晶圆的自动测量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全访问 200mm 晶圆或直径为 200 mm 的面积中的多个样品中的多个区域，并配有 300 mm 晶圆的可选样品台。该系统还提供用于形貌、粗糙度和其他计量参数的分析。拥有可更换的高速FastScan 扫描头以及具有 90μm 扫描范围的 Icon 扫描头（用于更大的扫描和高精度地形性能）。

强大的自动化软件

AutoMET™ 的测量流程软件提供操作简单、快速、全自动、以及关键的质量控制参数。该软件允许在多个样品或单个大型样品上进行多点自动测量。它还提供光学和 AFM 图型识别、探针针尖中心化、空白晶圆和图形化后晶圆的测试，以及数十纳米范围内的图像位置对准精确度。全面而简单的测量流程编写使高级用户在在线和离线软件的应用中跟快捷、有效。
测量流程窗口
轻松创建测量流程，使工程师能够按名称定义测量位置、以及测量方式和每个位置的测量次数
流程测试窗口
流程测试窗口，显示基于晶圆的分布，用于精确定义X-Y 测量位置。

精确控制探针于样品之间相互作用

探头样品控制

Dimension FastScan Pro 拥有精确控制探针于样品的相互作用的能力，适用于各种样品类型，从软聚合物、薄膜和电学样品到非常坚硬的材料都可以进行扫描。

独特的原子力显微镜技术可以控制探针和样品之间任何一点的范德华力。这种精确的探针和样品之间的力控制允许将机器用在广泛的样品类型上，从软聚合物、薄膜和电气样品到硬材料。它还提供低的可用于成像的力，探针寿命超过数百次扫描和数据收集。

Powered by the NanoScope 6 AFM Controller


Featuring higher speeds, lower noise, and greater AFM mode flexibility, the NanoScope 6 controller allows users to harness the full potential of our high-performance Dimension and MultiMode AFM systems. This latest generation controller provides unprecedented accuracy, precision, and versatility for nanoscale surface measurements in every applicationNanoScope 6 uniquely enables Bruker AFMs to:

  • Operate in more imaging modes than is possible with competing systems, including unique and advanced AFM modes that require complex control and analysis;

  • Collect accurate, quantitative data for nanoelectrical and nanomechanical property measurements in every application; and

  • Optimize and customize scanning parameters to meet even the most demanding research and industry measurement requirements.

AFM 模式

用AFM拓展您的应用

凭借一整套出色的AFM成像模式，布鲁克能为您每项研究提供适用的 AFM 技术。

基于核心成像模式（接触模式和轻敲模式），布鲁克提供的全套 AFM测试模式，允许用户探测样品的电学、磁性等丰富性能。布鲁克独创的全新的峰值力轻敲技术作为一种新的核心成像模式，已被应用到多种测量模式中，能同时提供形貌、电学和力学性能数据。

应用
Dimension FastScan Pro 图例
  • 由于探针振荡中的阻尼效应，使用经典的成像模式很难对深沟槽结构进行成像。峰值力模式可以扫描到深沟槽结构的底部，在此示例中，利用了布鲁克标准探针对深65纳米，宽50纳米的线和沟槽进行了成像。
    由于探针振荡中的阻尼效应，使用经典的成像模式很难对深沟槽结构进行成像。峰值力模式可以扫描到深沟槽结构的底部，在此示例中，利用了布鲁克标准探针对深65纳米，宽50纳米的线和沟槽进行了成像。
  • 半自动 24/7 操作，使用 Dimension AFM 来描述用于制程控制的 3D 图案。
    半自动 24/7 操作，使用 Dimension AFM 来描述用于制程控制的 3D 图案。
  • 极平样品:玻璃基板，粗糙度低，Rq=0.194nm，Ra=0.153nm。
    极平样品:玻璃基板，粗糙度低，Rq=0.194nm，Ra=0.153nm。
  • 碱·铝砖酸盐板材的主要特性具有高强度和耐刮擦性的特点，因此难以持续的准确地测量其纳米形貌。 FastScan AFM 和特殊的布鲁克 HPI探针结合，图形实例:第一个图像(A)表面粗糙度 Rq=0.99 nm，Ra=0.79。图像号615(B)于图A呈现相同的粗糙度;Rq=0.99 nm，Ra=0.79。旁边的图是1号扫描和615号扫描的数字放大图像，显示微不足道的形貌变化。
    碱·铝砖酸盐板材的主要特性具有高强度和耐刮擦性的特点，因此难以持续的准确地测量其纳米形貌。 FastScan AFM 和特殊的布鲁克 HPI探针结合，图形实例:第一个图像(A)表面粗糙度 Rq=0.99 nm，Ra=0.79。图像号615(B)于图A呈现相同的粗糙度;Rq=0.99 nm，Ra=0.79。旁边的图是1号扫描和615号扫描的数字放大图像，显示微不足道的形貌变化。